成果挂牌

项目名称: 宽幅激光干涉光刻直写设备与应用
项目领域:
电子信息技术
项目编号: K02439 联  系  人: 胡盛祥
挂牌单位: 南京工业大学 电        话: 83587081
挂牌金额: 17万元 挂牌日期: 2015-03-16
项目内容:

这是一项代表我国激光超微细加工领域最好水平的干涉激光图形加工系统。