成果挂牌

项目名称: 大面积并联高密度感应耦合等离子体源
项目领域:
电子信息技术
项目编号: K02423 联  系  人: 胡盛祥
挂牌单位: 南京工业大学 电        话: 83587081
挂牌金额: 15万元 挂牌日期: 2015-03-11
项目内容:

本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源,包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法,提高了射频功率的耦合效率,增强了等离子体密度,改善了其放电均匀性,设计与制作简单,成本低廉。技术指标:在700W射频功率的条件下,Ar等离子体密度超过1011cm-3,表面处理的均匀性好于85%。应用领域:各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。投资规模:60万元合作要求:产权转让。