成果挂牌

项目名称: 光纤询问式MEMS压力传感器
项目领域:
电子信息技术
项目编号: K02250 联  系  人: 陈国祥
挂牌单位: 南京师范大学 电        话: 83598080
挂牌金额: 13万元 挂牌日期: 2014-09-30
项目内容:

光纤询问式MEMS压力传感器主要基于法布里-珀罗(F-P)干涉原理,在光纤端面和硅敏感膜之间形成F-P腔,通过硅敏感膜感知压力变化