成果挂牌

项目名称: 绝缘体上硅深硅槽隔离结构的制备工艺
项目领域:
新材料及其应用
项目编号: K01890 联  系  人: 周山明
挂牌单位: 东南大学 电        话: 83792864
挂牌金额: 26万元 挂牌日期: 2014-06-09
项目内容:

绝缘体上硅深硅槽隔离结构的制备工艺,包括