成果挂牌

项目名称: 三轴集成硅微谐振式加速度计
项目领域:
先进制造技术
项目编号: K01794 联  系  人: 周山明
挂牌单位: 东南大学 电        话: 83792864
挂牌金额: 24万元 挂牌日期: 2014-04-28
项目内容:

本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计,包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座