成果挂牌

项目名称: 不等基频硅微谐式加速度计
项目领域:
新材料及其应用
项目编号: K01734 联  系  人: 周山明
挂牌单位: 东南大学 电        话: 83792864
挂牌金额: 22万元 挂牌日期: 2014-04-22
项目内容:

本发明公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计,其特征在于:该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层,最下层为玻璃基底,在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层,通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上