成果挂牌

项目名称: MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法
项目领域:
新材料及其应用
项目编号: K01693 联  系  人: 周山明
挂牌单位: 东南大学 电        话: 83792864
挂牌金额: 21万元 挂牌日期: 2014-04-18
项目内容:

本发明涉及了一种MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法。