成果挂牌

项目名称: 一种快速响应的CMSO相对温度传感器
项目领域:
新材料及其应用
项目编号: K01627 联  系  人: 周山明
挂牌单位: 东南大学 电        话: 83792864
挂牌金额: 22万元 挂牌日期: 2014-04-15
项目内容:

一种快速响应的CMOS相对湿度传感器,由衬底,氧化层,电容电极,湿度敏感介质组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上,电容电极由压焊块引出,湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方,腐蚀衬底及其上方的氧化层,形成空腔,使得电容电极之间的湿度敏感介质的下表面也与空气接触。